2021-03-03感应加热在半导体提纯方面的应用简介

高频感应加热可应用在半导体加工方面，如区域熔炼（提纯半导体）和外延（使衬底硅片上生成一层单晶硅）等，运用频率多为300KHz----3MHz 1. 硅是在高频感应加热电炉中停止提纯处置的，此时，硅被凝结并重新成型成为单晶硅。 2. 将该单晶硅研磨成具有···...